Технические характеристики установок металлизации текстильных материалов и полимерных пленок методом магнетронного распыления
Параметры |
УМН-180 |
MM-180 |
Рабочая ширина (cm) |
180 |
180 |
Макс. диаметр рулона (cm) |
70 |
70 |
Объем вакуумной камеры (m3) |
15 |
15 |
Количество магнетронов |
2 |
4 |
Рабочее давление (mm Hg) |
(0.5-3)´10-3 |
(0.5-3)´10-3 |
Ток разряда на 1 магнетрон (A) |
1 – 25 |
1 – 25 |
Скорость обработки (m/min) |
0- 20 |
0- 40 |